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●体积小,重量轻 ●比传统的精密减压阀IR3000流量大20%(最大1100 lmin) ●比传统的精密减压阀IR3000排气最大5倍 ●压力没定精确(调节螺栓的齿间距由传统的0.17mm改成O.5mm) ●安装办便,可用托架独沈安装或与现在的模块式过滤组合AF及AFM直接安装 ●标准也带面板式安装 ●先导排气口与主道排气口分开 ●可在洁净房使用(特别产品),压缩空气精密减压阀,高精密减压阀,微调减压阀
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